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          集成電路應用

          1、12寸芯片, 3nm-28nm;
          2、VOC, SO2, H2S, Cl-, Ammonia, MDS, O3, 等氣體過濾;
          3、建廠時潔淨室的初期氣體清理;
          4、外氣MOU氣體分子過濾;
          5、FFU 化學濾網過濾;
          6、機台上的設備氣體過濾;
          7、面板廠曝光機的過濾機, 保護鏡頭。



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